二手 TOK TCA-3400 #9142656 待售

TOK TCA-3400是一种自动蚀刻和灰化设备，设计用于从各种微电子基板中精确去除材料。这个最先进的系统采用了蚀刻和灰化工艺的最新技术。TCA-3400能够在尺寸不超过8 "x 8"的基板上进行广泛的蚀刻和灰化处理。该装置具有高精度的温度控制和精确的流畅调节，保证了高精度的重复效果。它还具有以下特点：温度调节、高速运行、无污染腔室设计、样品和基板冷却系统以及大量的蚀刻和灰化化学。TOK TCA-3400设计有两个独立的加工室，一个用于蚀刻，一个用于灰化。这两个腔室都配备了速效加热元件，保证了快速的温度控制和高的工艺精度。这些密室也不受污染，确保工艺条件保持一致和清洁。蚀刻室设计为提供几种不同的蚀刻化学。本机支持电感耦合等离子体（ICP）和反应性离子蚀刻（RIE）工艺。这两种工艺化学方法都利用了冷却的等离子体，这种等离子体可以在底物失真最小的情况下进行蚀刻。与传统的湿蚀刻工艺相比，RIE工艺可实现精确的深度控制和更高的蚀刻速率。Ashing chamber is ability to ploying wet and dry ashing techniques.湿灰化技术使用高反应性蚀刻溶液，氧化基板表面，留下薄膜。这种薄膜提供了防止进一步蚀刻或沉积的保护。干灰化技术可有效去除细腻基板上的残留物，可用于制造复杂的图样或纳米结构。TCA-3400非常适合硅、GaAs和各种聚合物等材料。该工具提供了一个用户友好的界面，可以很容易地编程定制蚀刻和灰化过程。利用这一资产,用户可以期望获得可重复和精确的结果,即使在高吞吐量应用程序中也是如此。