二手 TOK TCA-3822 #9269463 待售

TOK TCA-3822
ID: 9269463
晶圆大小: 6"
Asher, 6".
TOK TCA-3822是一种精密蚀刻器/asher。它是一种多用途的仪器,能够使用化学蚀刻和灰化工艺对大多数材料进行蚀刻。蚀刻器/asher配有一个界面窗口,允许用户输入蚀刻和ashing进程的设置。仪器还具有精确的温度和压力控制设置,温度设置范围为0至400°C,压力设置范围为0至13 bar。通过其图形用户界面,该仪器可以被编程成在不同深度、角度、形状和大小的蚀刻和灰烬。TCA-3822还配备了旋转模具系统,允许精确放置蚀刻图桉,以及扫描表,为用户提供了非常精确的调整蚀刻和灰度区域的能力。此外,TOK TCA-3822借助可转动的样品支架为用户提供高达180°的视角和聚焦于蚀刻和灰化区域的聚焦系统,为蚀刻和灰化过程提供了灵活性。此外,其快速的样品交换系统加快了蚀刻和灰化过程。最后,TCA-3822的计算机辅助设计用于监控蚀刻和灰化进度,以及自动执行蚀刻操作的回放功能,为用户提供了对整个蚀刻和灰化过程的详细控制。
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