二手 TOKUDA CDE7-3 #293819193 待售

TOKUDA CDE7-3是一种高度先进的蚀刻/asher设备，设计用于对半导体和微电子制造中使用的各种材料进行精确和高效的处理。此通用工具提供了广泛的功能和功能,使其成为研究和生产设施的首选。在其核心，CDE7-3配备了一个坚固的基于等离子体的蚀刻/灰化室，允许从基板表面选择性去除材料。此过程对于在半导体晶片、显示面板和电子设备中使用的其他高级材料上创建复杂的模式、结构和特征至关重要。TOKUDA CDE7-3利用等离子体化学和物理溅射技术相结合，在整个基板表面实现高蚀刻/雾化率和均匀加工。这对于保持制造过程的一致性和一致性,确保最终产品的质量和可靠性至关重要。CDE7-3的关键特征之一是其先进的射频供电系统，它允许精确控制功率、频率和占空比等等离子参数。此控制级别对于优化不同材料和基材尺寸的蚀刻/灰化工艺,确保高工艺重复性和效率至关重要。除先进的射频供电装置外，TOKUDA CDE7-3还配备了一台先进的气体输送机，可在蚀刻/遮光室内精确、均匀地分配加工气体。此功能对于实现均匀的蚀刻速率和选择性、最大程度地减少侧壁损坏以及确保高度的过程控制至关重要。CDE7-3还具有高度可定制的过程配方管理工具,允许用户为特定应用程序和材料创建和优化蚀刻/灰度配方。这种灵活的资产使用户能够微调流程参数,如气体流速、压力、温度和等离子体功率,以获得所需的蚀刻/灰化结果。为了加强过程监测和控制，TOKUDA CDE7-3配备了一套全面的诊断和计量工具，包括原位等离子体传感器、光发射光谱和端点检测系统。这些工具能够实时监控过程参数、检测过程偏差以及优化蚀刻/灰化配方以提高过程性能。在安全性和可靠性方面，CDE7-3设计有多个安全联锁、真空完整性监测系统和紧急关机协议，以确保安全运行，保护设备和操作员免受潜在危害。总体而言,TOKUDA CDE7-3是一种尖端的蚀刻器/asher模型,它为各种半导体和微电子制造应用提供了先进的功能、精确的工艺控制和高可靠性。它的多功能性、灵活性和用户友好的界面使其成为研究实验室、试点生产线和大批量制造工厂的理想工具,这些工厂力求以高吞吐量和高效率实现卓越的蚀刻/灰化效果。