二手 TOKYO OKA / TOK OPM 1200 #9269154 待售

TOKYO OKA/TOK OPM 1200是一种用于开发光掩模的蚀刻器/asher。它是一种无酸高压设备，可以为各种蚀刻和灰化应用提供额外的速度和精度。TOK OPM 1200采用多处理器控制系统,可实现多轴蚀刻层间。该单元的设计目的是通过减少蚀刻步骤数、减少过程间的停机时间和减少基板的处理来节省时间和提高产品产量。TOKYO OKA OPM 1200单用负载能力大，非常适合大批量生产和量产生产线。该机器可用于蚀刻尺寸不超过12英寸（300毫米）的聚酰亚胺、玻璃、硅等基材，并能以每分钟0.4至3.0英寸（每分钟1.0 μ米至8.0 μ米）的速率蚀刻各种厚度的目标材料。该工具具有先进的数字处理器和PLC控制资产,以及8轴受电弓X-Y-Z-θ-θ旋转轴运动模型,允许精确且可重复的蚀刻模式。OPM 1200具有获得专利的控制设备,该设备使用四个计时器电路和一个伺服电动机来精确控制蚀刻速率、角度、深度和层间重迭。这样可以确保均匀性和准确性,同时最大限度地减少不正确的蚀刻深度和层过渡。该系统还可以配置可选的光学检查单元,以提高可靠性。可调压力允许高速但低压（最大17.5 kgf/cm2）蚀刻，高能效设计最大限度地减少了化学品的使用和整体环境影响。该机还具有防止形成腐蚀性和危险气氛的安全外壳，密封的微净过滤器易于维护。无交流设计大大降低了触电风险，内置的紧急停止按钮等安全措施保护操作员免受伤害。因此,TOKYO OKA/TOK OPM 1200为各种材料和产品应用提供了安全高效的蚀刻和灰化解决方桉。