二手 TOKYO OKA / TOK OPM A 1200 #162892 待售

TOKYO OKA/TOK OPM A 1200是一款等离子体蚀刻器，由东京Ohka Kogyo株式会社制造。（TOK）.它是为金属薄膜和晶圆的选择性蚀刻而设计的，具有可重复的低拥有成本。这种蚀刻器基于磁控管溅射过程，利用高能电场产生离子，随后向要蚀刻的底物加速。TOK OPM A 1200具有一个24英寸的溅射室，具有精确和自动化的屏蔽模式控制，完全真空密封它具有对蚀刻过程的精确和自动化控制，包括射频功率、屏蔽、速率和屏蔽模式。该软件包括多种功能,如参数优化、数据监视和日志记录以及回放存储。该设备还支持从GDSII、Gerber或位图数据格式进行全光刻蚀刻。TOKYO OKA OPM A 1200蚀刻器具有超高的吞吐量，允许快速周转时间和低成本蚀刻。它具有用于精确掩模对准的自动对准系统,以及使工艺温度保持在可接受范围内的多区冷却单元。此外，它还有一个自动晶圆加热和冷却过程，这有助于保持金属薄膜蚀刻过程中的均匀性。OPM A 1200是一款高效蚀刻机，具有广泛的特性和功能。它对蚀刻工艺的精确、自动化控制，以及经济高效的设计，使得它成为可靠、精确的薄金属蚀刻的绝佳选择。TOKYO OKA/TOK OPM A 1200以其高吞吐量和卓越的精确度，是一致、精确的薄金属蚀刻的理想选择。