二手 TOKYO OKA / TOK OPM2001CN #9055154 待售

TOKYO OKA/TOK OPM2001CN是为微电子工业中的多种应用而设计的蚀刻器/asher。它是一种半自动设备，由真空处理室和控制系统组成。真空处理室包含四个加热区和两个冷却区，并包含一个蚀刻和灰化室，用于处理直径达8英寸的晶片和基板。控制单元包括一个可编程逻辑控制器和一个操作员接口面板.该蚀刻器根据正在加工的材料使用氮气、氙气和氧气。蚀刻和灰化室的温度可在20至300摄氏度之间调节，蚀刻气体在100至500 sccm之间。腔室的温度和压力可以通过机器中的各种传感器进行监控，确保最佳的加工条件。晶片和基板在真空处理室门关闭前加载到工具的装载站。门在蚀刻开始之前用真空泵密封。蚀刻和灰化室内的腔室内部温度由PLC监控，允许优化蚀刻速率和产品质量。当蚀刻过程完成时，真空泵被关闭，允许晶片和基板安全地从资产中卸载。真空泵必须关闭，以确保腔室加压，不会有有毒物质释放到工作环境中。排气水平由内置传感器和系统监控。如果排气水平超过预先指定的限制，模型将提醒操作员。TOK OPM2001CN是一种可靠、高效的工具,适用于需要对多种材料进行高质量蚀刻和灰化处理的公司。设备配备了若干安全功能，确保系统安全运行，有毒物质不会释放到工作环境中。用户友好的操作员界面允许对蚀刻和灰化过程进行快速准确的调整，从而实现快速高效的处理。