二手 TOKYO OKA / TOK TCA-2400 #9396127 待售

TOKYO OKA/TOK TCA-2400是为工业应用而设计的蚀刻和灰化设备。该系统具有化学和干灰处理能力，可以加工各种材料，从标准敏感剂到晶圆等产品。该单元包括一个300毫米晶圆支撑盒、一个24槽晶圆盒和一个可以将晶圆移动到所需位置的直线级。双区电阻炉既能进行热处理，又能进行化学灰化反应。它具有高温控制和可重复性,加热速率可调.TOK TCA-2400利用了一种气体溷合机，可以快速调整过程气体，同时提供准确精确的过程参数。TOKYO OKA TCA-2400的温度范围介于环境温度至2400°C之间,可重复且可靠的工艺结果,从而达到1 µm的特征尺寸。它利用包括充气和减压气的气体溷合工具对加工气体进行精确调节，以确保准确的结果。资产还包括压力和温度监测等几个安全特征，以保护操作员和周围环境。TCA-2400由耐用不锈钢制成，具有高度绝缘的结构，具有优异的热性能。它是专为优质生产而设计的，减少了材料消耗。其用户友好的液晶控制面板和自动自校准功能，让操作简单高效。此外，该模型还配备了远程自我诊断能力和通信能力，以便对进程进行远程监测和控制。总体而言,TOKYO OKA/TOK TCA-2400是一种用途广泛且可靠的蚀刻/灰化设备,可为需要精确度和准确性的应用提供卓越的性能。该系统可靠性高，易于操作和维护，提供卓越的过程重复性和可靠性。它非常适合广泛的工业应用，可以加工多种材料，结果可靠。