二手 TOKYO OKA / TOK TCA 3400 #9181768 待售

TOKYO OKA/TOK TCA 3400是一种蚀刻/asher设备，为各种应用提供高质量的蚀刻、粉刷和清洗工艺。通过使用高速、精密的设备，以及先进的工艺控制，它产生了卓越的性能和可靠性。此蚀刻器/asher系统旨在提高性能、降低成本和提高工艺产量。该蚀刻器/asher具有高度先进的精密喷雾工艺,采用直接喷雾或扇形气体密封罩设计。该单元的设计目的是提供金属和非金属材料的均匀、高质量的蚀刻。该工艺易于调整，便于各种形状、材料和尺寸的蚀刻。风扇式气体密封功能还有助于减少气体使用量和能耗，并消除废物。此外,TOK TCA 3400还提供了先进的自我校准功能,以提高效率。此功能自动维护工艺参数,确保一致和质量的蚀刻和清洗结果。流程参数也可以通过TOKYO OKA TCA-3400用户界面进行管理。该机器包括一个自动清洗过程，这确保了一个一致的清洁室和设备。它使用旋转、动力辅助的刷子和过滤真空工具，以尽量减少碎片。此资产可以设置为以手动或自动模式执行清洁过程运行。腔室还配备了自动晶片加载模型，确保晶片的高效自动加载。TOKYO OKA/TOK TCA-3400还具有广泛的选项,允许用户自定义其蚀刻和清洁过程。各种腔室修改，如集成离子蚀刻和溅射蚀刻的腔室，可以很容易地完成。此外，设备还可以容纳各种工艺参数，如气体溷合、晶圆形状、晶圆尺寸、气体类型和基材类型。总体而言，TOKYO OKA TCA 3400是一款先进的蚀刻/asher系统，提供卓越的蚀刻和清洁性能。它易于使用、高度可配置并提供一致的结果。TOK TCA-3400具有先进的功能和广泛的选项,是任何蚀刻和清洁要求的理想选择。