二手 TOKYO OKA / TOK TCA 7822 #293749580 待售

TOKYO OKA/TOK TCA 7822是一种专门蚀刻/asher，设计用于生产微电子器件。该设备是从头开始设计的，其具体目的是以最高的精度和精确度对微电子器件进行蚀刻。它配备了先进的蚀刻和清洁能力，使其成为制造商的强大工具。蚀刻器/asher利用了既先进又高效的蚀刻和清洁技术的独特组合。该系统配备了先进的等离子体反应性离子蚀刻（PRE）工艺，可缓和电离蚀刻气体，确保其精确蚀刻并符合预期分辨率。这一过程由高分辨率电子束掩模写入器和扫描仪指导，两者都设计为在蚀刻时达到最大精度。TOK TCA 7822还具有高度先进的ashing单元。这台专用机器利用等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）工艺从设备表面烧掉有机材料。这个过程有助于改善设备和基板之间的粘附，同时提供最佳蚀刻结果。TOKYO OKA TCA 7822 蚀刻器/asher配备了强大的控件，使用户可以轻松编程和调整各种设置，以满足其特定的蚀刻需求。用户可以轻松调整设置,例如压力、温度、气流和不同的蚀刻过程（例如等离子体蚀刻、干蚀刻、湿蚀刻和反应性离子蚀刻）。TCA 7822是一种用于蚀刻和灰化微电子器件的强大而可靠的工具。凭借其先进的蚀刻和清洁功能以及直观的控制资产，这款蚀刻器/asher可以为用户提供最大的准确性和性能。因此,制造商可以放心,他们的设备经过了精确的蚀刻。