二手 TOKYO OKA / TOK TCA 7822S #9239620 待售

TOKYO OKA/TOK TCA 7822S是由东京冈本株式会社开发的蚀刻/asher。该7822S是一种用于生产半导体器件的低温、高精度、单面蚀刻器/asher。此蚀刻器/灰化器用于清洗、剥离和蚀刻晶片和蒙版的表面。TOK TCA 7822S是一种旋转温度控制的四室蚀刻器/灰化器。它使用广泛的材料，包括氧化膜、聚合物、氮化硅膜、玻璃和金属。蚀刻器/asher采用的技术可实现400˚C的精确温度控制,并支持使用高达1 bar的低压。7822S正面有晶片卡带装载设备和可编程穿梭系统，用于卡带晶片装卸。蚀刻器/灰化器设计有四个独立的气流室。分别是：上加热室（UHC）、下加热室（LHC）、AnnULAR加热室（AHC）和未加热室（UHC）。该7822S采用先进的加热技术，自动调整各个腔室的温度。可以通过输入每个腔室的特定度数来调整各自腔室中使用的温度设置。TOKYO OKA TCA 7822S还包括一个触摸面板前面板，便于操作与图形用户界面。该7822S可采用各种蚀刻速率、蚀刻深度和蚀刻速度公式进行编程，非常适合满足所有行业的蚀刻需求。蚀刻器/asher采用64位高速处理器和多个接口设计,可实现快速、准确的数据交换。该7822S还包括一个真空旋转溅射装置（VRS）来沉积高导电膜如氧化铝或其他绝缘材料。该7822S能够蚀刻各种材料，包括金属、聚合物和氮化硅。TCA 7822S是生产半导体器件的完美蚀刻器/灰化器。这款蚀刻机/asher以其精确的温度控制、可编程的穿梭机、集成的触摸面板和多种配方满足了各种行业的广泛蚀刻需求。这种先进的蚀刻/ashers技术在每次蚀刻输出时都能提供一致和可靠的结果。