二手 TOKYO OKA / TOK TCE-3822 #293766670 待售

TOKYO OKA/TOK TCE-3822是一款蚀刻器/asher,具有高功率和可靠的性能,非常适合要求最苛刻的应用程序。它配备了高精度的控制设备，允许精确操作。TOK TCE-3822具有更强的吞吐量,能够蚀刻/灰化多达20,000个晶圆/小时,并且还装有,其特点包括用于快速准确开发化学和机械敏感材料的分体式涂层/显影剂。TOKYO OKA TCE 3822具有精确的结构设计,按照精确的公差设计以实现精确的对齐。其创新的工程和质量允许卓越的热量和零件损坏控制在蚀刻/灰化过程。这些设计产生更统一的零件蚀刻/灰度处理,并在自动化和工程过程中提供更大的灵活性。TOKYO OKA TCE-3822缩短了周期时间，包括在蚀刻时间和灰度时间之间调整加工时间。它还提供了先进的控制系统，允许密切监测蚀刻和灰度循环。图形用户干扰（GUI）允许用户快速轻松地设置其蚀刻/灰化过程,并提供有用的帮助菜单,帮助用户进行蚀刻/灰化操作。它还提供各种保护功能,包括防止蚀刻/灰化过程误操作的安全锁定。TCE-3822的蚀刻室是一种防反射涂层石英蚀刻室，用于均匀蚀刻/无蚀刻偏差的灰化。它还具有较高的蚀刻速率，即使在较高的功率水平，并且与许多流体兼容，用于更广泛的应用。该腔室的设计目的是有效地排出气体过程，并带走废气。它的两级排气和回泵单元允许快速流量调整，以改变过程压力条件和几个配方可以保存以后使用。TCE 3822是一款可靠、准确的蚀刻器/asher,具有一系列功能,即使是要求最苛刻的应用程序也能处理。其强大的设计和集成的控制机使其成为蚀刻和灰化的理想选择，其用户友好的界面确保了方便的操作。TOKYO OKA/TOK TCE 3822具有先进的功能,是任何蚀刻/灰化应用的理想选择。