二手 TOKYO OKA / TOK TCE-7822 #293625343 待售

TOKYO OKA/TOK TCE-7822是一款高性能的蚀刻器/asher,专为在一系列应用程序环境中提供卓越的性能和可靠性而设计。该装置非常适合中高批量生产的蚀刻和灰化工艺，包括在实验室和工业环境中。该设备包括一个功能强大的蚀刻器/asher柱，其高度可调，可实现最佳工艺控制。此列安装在实心床支撑上,该支撑还提供用于监视蚀刻时间的旋转索引。柱子由步进电机控制，可以精确调整蚀刻时间、温度和压力。该系统还包括一个高容量真空储罐，用于有效回收蚀刻和灰化残留物。TOK TCE-7822的设计允许许多高级蚀刻和灰化过程。该单元能够处理多种基材，可以适应多种蚀刻形状，包括沟槽、通过蚀刻、接触孔、长宽比（AR）蚀刻和窗口蚀刻。蚀刻窗的大小可以从0.1um到200 µm不等。为了优化蚀刻精度，可以对机器进行调整，将可变各向异性蚀刻时间和可变蚀刻深度（DOE）结合在一起。TOKYO OKA TCE-7822与多种气体和试剂兼容，可用于多种工艺。蚀刻气体包括氧气、氮气和氙气。当与其中一种气体结合使用时，该工具可用于湿蚀刻或干蚀刻。试剂可用于选择性蚀刻和平面化过程。最后，该资产还可用于快速热退火。TCE-7822还包括在要求苛刻的环境中实现可靠性和准确性的高级过程控制功能。该模型包括多气体替代控制，允许精确的流量控制和多气体输入。该设备还具有真空控制功能，有助于优化工艺压力和均匀性。此功能还有助于确保快速蚀刻速率、最小重新沉积和减少蚀刻残留物。综上所述，TOKYO OKA/TOK TCE-7822是一种可靠且功能强大的蚀刻器/asher，能够进行各种蚀刻和研磨工艺。该系统可以加工各种底物，加工尺寸范围大的蚀刻窗，并容纳多种气体和试剂。该装置具有先进的工艺控制特性，如多气体替代控制和真空控制，以提高蚀刻精度和可靠性。