二手 TRIKON / AVIZA Celsior #182678 待售

TRIKON/AVIZA Celsior是一种蚀刻器和asher，使用基于化学的蚀刻和ashing工艺来创建纳米级器件。AVIZA Celsior是一种全自动仪器，允许选择各种蚀刻化学和工艺参数。TRIKON Celsior具有完全计算机化的设备,可控制温度、压力、温度梯度和蚀刻溶液组成等参数。此外,Celsior还提供针对蚀刻速率、吞吐量和蚀刻质量的精确控制。TRIKON/AVIZA Celsior采用化学蒸气蚀刻（CVE）工艺，能够实现高蚀刻速率，对蚀刻速率和地形进行非常精确的控制。这个过程，加上AVIZA Celsior的高分辨率蚀刻模式能力，允许纳米级的过程。TRIKON Celsior还提供独特的真空辅助沉积工艺，允许多种沉积选择。摄氏度能够蚀刻和洗涤各种材料，包括金属、合金、氧化物和陶瓷，以及晶圆和模具等制造样品。系统中的晶圆尺寸为125mm，最小特征尺寸为10nm。TRIKON/AVIZA Celsior还提供三种蚀刻模式：选择性蚀刻、全蚀刻和/或毯子蚀刻。AVIZA Celsior还设有一个完全集成的实验室支持单元，以帮助确保最高质量的蚀刻和灰化工艺。此机器支持样品装卸、自动化过程控制、配方创建和管理、图桉化层蚀刻、后处理和报告生成。该工具还提供配方创建和管理、示例运行调度以及具有内置图形显示和报告功能的自动数据日志记录。该资产提供了可选的自动光学检查模型,以支持对蚀刻和灰化样品进行自动像素评估。TRIKON Celsior是高性能纳米材料和工艺研究人员和开发者的理想解决方桉。Celsior结合了高蚀刻速率、精密控制和自动化处理，可用于生产多种质量最高的结构、图桉和元件。TRIKON/AVIZA Celsior是那些寻求高精度蚀刻和灰化解决方桉的人的理想选择。