二手 TRIKON / AVIZA Celsior #293652303 待售
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TRIKON/AVIZA Celsior是一款由AVIZA品牌开发的先进蚀刻/asher设备。该蚀刻器/灰化器具有气动控制的电容耦合腔室，该腔室针对均匀的蚀刻性能进行了优化。它使用多种材料,能够高速度蚀刻。该系统配备了一个或两个掩码对齐器,可针对特定的客户需求提供最大的灵活性。该腔室采用不锈钢结构,操作可靠,维护方便.AVIZA Celsior Unit针对电子材料的蚀刻和灰化进行了优化。该机器的设计提供了卓越的可重复性和均匀性。它能够对广域基板进行蚀刻，覆盖范围全面，效果一致。该工具旨在处理各种材料,包括铝、聚酰亚胺、TiN、Polaymide等。它还可以处理从2"到8"的各种晶圆尺寸。TRIKON CELSIOR资产具有较高的蚀刻/灰分速率吞吐量和卓越的均匀性、清洁度和可重复性。它可以容纳各种来源和气体，并能很好地控制蚀刻速率和均匀性。该型号配备了AutoSelectTM,使操作员只需一个按钮即可控制蚀刻/灰分过程。该设备还具有AutoMasks TM,允许在一个步骤中蚀刻多层。Celsior System具有多种功能和选项,包括用于装载/卸载基板和晶片盒的多级自动填充、用于附加基板固定器的多托盘压板单元、真空室吹扫机、匹配的阻抗可热射频线圈以及各种气体控制选项。该工具旨在通过可编程的热控制以及等离子体和反应物气体的自动流动控制，提供精确的温度控制和均匀性。该资产为用户提供了更灵活的腔室编程和气体控制，使其非常适合蚀刻和灰化各种基材材料。此外，TRIKON/AVIZA Celsior还配备了各种安全功能，例如能够提供视觉和听觉警告的警报模型，降低操作员的安全风险。该设备还包括基于计算机的反应性气体监测系统，无需操作员手动检查气体水平。总而言之,AVIZA Celsior是一个先进的蚀刻器/asher单元,旨在提供统一的结果、高吞吐量、可靠的操作和卓越的灵活性,以便对各种材料进行灰化和蚀刻。通过其多用途的功能，这台机器为用户提供了对蚀刻/灰烬工艺的终极控制，让他们在更短的时间内获得最大的效果。
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