二手 TRIKON / AVIZA Celsior #293665944 待售

TRIKON/AVIZA Celsior是一种专业的全场、高分辨率晶圆蚀刻器/asher，用于在半导体制造过程中蚀刻、沉积、剥离和清洁宽幅基板。它是一种高度可靠、全自动且经济高效的生产工具。AVIZA Celsior Etcher/asher具有多项先进技术，包括自动交换系统（AES）和远程等离子体源（RPS）。AES提供了实时质量控制和快速提供工艺配方的好处。RPS是反应性等离子体的模块化来源，允许对基板的所有部分进行均匀蚀刻。此外,该机器还配备了先进的动态热控制（DTC）系统,可确保在该过程的任何阶段都能实现稳定的蚀刻和沉积过程。此外，TRIKON Celsior能够运行广泛的工艺配方，以达到不同的结果。其中包括硅、石英、氧化铝、TiN等蚀刻基板。它还具有沉积各种材料的能力，包括金属、聚酰亚胺、SiO2、SiN等等。此外，Celsior采用专用工具清洁和抛光基板，以及控制和监测腔室条件。软件包具有自动维护和诊断、密码保护、实时参数日志记录、粒子跟踪等功能。TRIKON/AVIZA Celsior Etcher/Asher设计用于具有严格安全协议的清洁环境。它易于操作和维护，确保了最佳数量的基材得到高效和优质的加工。蚀刻器/asher还设计用于并行处理功能,使其成为大批量生产线的理想选择。综上所述，AVIZA Celsior是一种用途广泛、功能齐全的蚀刻器/asher，设计用于执行广泛的蚀刻和沉积过程列表。其先进的自动化技术和监控系统确保了高效、均匀的运行，基材质量优越，提供可靠、经济高效的芯片制造。