二手 TRIKON / AVIZA Celsior #9226879 待售

TRIKON/AVIZA Celsior是一款先进的精密蚀刻器和asher设备,旨在提供极高精度的图样和处理。该系统经过优化,可获得最小的特征尺寸以及最精确的图样和灰度处理结果,从而使微电子专业人员能够在其半导体基板上开发出微小的特征。该设备设计用于清洁、即时和准确的处理,以确保电子设备的最佳性能。AVIZA Celsior具有低功率要求、低成本操作和多用途ashing功能,允许用户从各种化学来源和粉末制备技术中进行选择。TRIKON Celsior利用一种新型的合金兼容蚀刻室，能够生产合金甚至多膜的无关节蚀刻。此外，蚀刻室还配备了集成真空辅助回流装置，以确保适当的熔融和沉积金属的均匀溷合。该机能够对小至8mm的基板进行精密蚀刻和粉刷，对于较小的特征尺寸可提供高精度。此外，摄氏度能够处理尺寸不等于32毫米的基板。在精密蚀刻和ashing吞吐量方面，机器最多有十个蚀刻和ashing阶段，每个步骤的时间可变。该工具还包括在线监控流程参数、自动结束运行协议、自动反馈参数、各种掩码类型、增强的晶圆机械处理等功能。为确保用户的最佳安全,TRIKON/AVIZA Celsior的设计采用气闸互锁资产,并包括特定于流程的安全防护装置。AVIZA Celsior是在设备制造过程中生产微小而紧密的图样层的理想工具。对于任何需要精确和可靠且停机时间最短的实验室或生产环境,这是一个完美的选择。低功率要求和高精度使其成为加工各种微电子基板的经济高效的选择。