二手 TRIKON / AVIZA FxP #9135551 待售

TRIKON/AVIZA FxP是用于制造半导体器件的高级蚀刻器（或asher）。它是一种通用、经济高效且自动化的工具,适用于前端和后端处理。该设备配备了自动化的过程控制算法，提供直观的用户界面和对蚀刻过程的精确控制。设备的图形用户界面使操作员能够输入各种蚀刻参数，如时间、功率、压力和流量。此外,该软件允许多种配方设置,并可以灵活地根据需要对其进行修改。硬件采用6轴机械臂，在蚀刻过程中移动晶圆级和掩蔽头。这提供了对蚀刻参数的精确控制,并允许对图样化和非图样化基板表面进行均匀蚀刻。AVIZA FxP提供高级工艺能力,如同时多晶蚀刻。它还提供了高速率的蚀刻吞吐量，提高生产效率和降低成本。该设备配备了多目标蚀刻室,使多个晶片能够在单个工艺周期中进行处理。该腔室可同时蚀刻不同的时间、压力和电压，并消除了将晶片转移到不同腔室的必要性。TRIKON FxP除了提供精确的蚀刻控制和优化的性能外，使用起来极为安全。它配备了一系列操作特性和安全特性，以保护用户和晶片，保证方便、安全和可靠的使用。这些功能包括内置诊断、可调安全报警和气流关闭功能。FxP的创新设计还通过将潜在危险的气体分配组件封装在密封散热器内，在蚀刻过程中提供最大的操作员安全。TRIKON/AVIZA FxP是蚀刻晶圆精确图样和特征的绝佳设备。它提供精确的过程控制、高吞吐量、用户友好和自动化的操作以及高级安全功能。总之，AVIZA FxP是满足当今不断发展的半导体器件制造要求的完美蚀刻器。