二手 TRIKON / AVIZA Omega  FxP #293799540 待售

TRIKON/AVIZA Omega FxP是在半导体工业中专门为精密蚀刻和灰化而设计的先进蚀刻器/灰化器。它配备了先进的自动化流体控制设备,允许优化处理时间和缩短循环时间。该机可用于光刻、金属化、MEMS、光伏和半导体器件制造中使用的其他材料的高级蚀刻灰。该机在设计上独具特色，具有开放式框架结构、光学视窗和便于检修操作的方便室。该机结合了高效真空系统、精密气体输送单元和强大的加热冷却机，在蚀刻和灰化过程中提供出色的精密控制。这样可以确保样品的表面完全被选定的蚀刻剂覆盖,并且不会以任何方式损坏。AVIZA Omega FxP还配备了先进的安全系统，如热压电池和气体监测传感器，用于检测危险情况并在紧急情况下关闭该工具。这样可以确保用户在蚀刻器/asher中工作时的最佳工作条件。该机器的瞄准精度高达1 µm，可在-65°C至500 °C的温度下操作。它能够处理尺寸达200毫米的基板，并支持CF4、O2、SF6和Ar等各种工艺气体。对于蚀刻或灰化,TRIKON Omega FxP还具有独特的双模离子源,可在一个资产中提供单步和多步蚀刻。这允许在样品表面上具有高度的精确度和均匀的蚀刻/灰分图桉。机器的所有部件质量优良，保证了最可靠、最精确的蚀刻和灰化工艺。Omega FxP是一种全自动工具,允许快速设置和快速循环时间。这使得该模型成为半导体器件制造中任何先进蚀刻灰工艺的绝佳选择。