二手 TRIKON / ELECTROTECH Omega II #293668338 待售

TRIKON/ELECTOTECH Omega II是为基材制备领域的各种应用而设计的蚀刻和灰化设备。该设备具有可编程控制功能,允许自动选择和复杂的配方,用于高端光刻应用程序所需的一系列蚀刻和灰化过程。它的最大蚀刻速率为40微米/分钟，最大灰度速率为80微米/分钟，温度范围为35至70摄氏度。此功能限制在蚀刻或灰化过程中产生的危险残留物的释放。该设备有一个冷却系统，有助于降低蚀刻或灰化产品的温度。除了蚀刻和灰化工艺外,ELECTROTECH Omega II还具有集成晶圆处理单元。这使用户能够对可根据所需过程暂停或加速的晶圆运动进行编程。晶圆处理机还便于自动加载晶圆，节省时间和人力。此外，该装置还配备了温度稳定工具、气体系统、架空引擎盖空间以及1级、Div 2级控制面板。温度稳定资产有助于确保温度范围在整个蚀刻和灰化过程中保持在设定的范围内。气体系统有助于降低过程的可变性和吞吐量。Class 1, Div 2额定控制面板允许用户监视与蚀刻和灰化过程相关的各种参数。Omega II的设计便于使用PVC/FDA批准的工艺气体,包括CF4、CF2、O2、CHF3等。而且，该装置可用于多种应用，包括化学机械平面化、掩模和晶圆清洗以及热氧化物生长。总体而言,TRIKON/ELECTROTECH Omega II是一款用途广泛的蚀刻和灰化设备,具有精确的控制和用户友好的功能。其封闭式腔室和其他控制选项使其成为各种工艺应用的理想工具。它提供了广泛的工艺选择,并为可靠的长期性能而设计。