二手 TRIKON Omega RIE #293651484 待售

TRIKON Omega RIE是一种反应性离子蚀刻（RIE）设备,旨在将高质量、精确和专业的技术推向市场。它利用现代先进的微加工技术，包括等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）和高密度等离子体能力，提供精确精确的蚀刻模式。有了这种技术，孔、沟、线宽等精确的特征可以用多种材料蚀刻出来。Omega RIE提供了广泛的工艺，包括金属和介电蚀刻、深反应性离子蚀刻以及独立的蚀刻和沉积优化。该系统采用最先进的技术，如专用电离和轰击系统，可产生高密度的等离子体，能够对先进技术设备进行真实的蚀刻深度和特征定义。此外，TRIKON Omega RIE还提供了其他先进的功能集，如先进的定时控制、高功率和等离子体控制的蚀刻、独立的离子和高能离子蚀刻控制，以及用于等离子体稳定性和可靠性的集成冷却单元。此外，该机具有内置软件和蚀刻过程的实时显示，允许在蚀刻过程中调整蚀刻参数和实时优化。这样可以确保更长的运行时间和可重复的蚀刻深度得到一致的结果。该工具支持广泛的金属和电介质，提供了一个极其通用的蚀刻资产。Omega RIE是一款小巧小巧的型号，易于操作，在整个蚀刻过程中提供高精度和重复性。它提供高质量的性能，并产生出色的结果。由于其独特的特性，TRIKON Omega RIE非常适合最苛刻的应用。它可靠、高效，拥有成本低。这项技术是工业和研究实验室微加工和微加工的绝佳选择。