二手 TRIKON Planar 200 #293758858 待售

TRIKON Planar 200是为半导体制造中精确高效的微加工工艺而设计的尖端蚀刻/asher设备。此高级工具提供了广泛的功能和功能,使其成为各种应用的理想解决方桉,包括等离子体蚀刻、灰化和抗剥离。Planar 200以其创新的设计和卓越的性能,为过程控制、可靠性和生产率树立了业界新的标准。TRIKON Planar 200配备了高功率射频等离子体源，产生高度均匀的等离子体，以确保整个基板表面一致的蚀刻和灰化结果。这一等离子体源能够输送广泛的工艺气体，包括氧气、氟气和氯气，使用户能够实现不同的蚀刻化学和选择性剖面，以满足其特定的工艺要求。此外，该系统还配备了先进的气流控制机制和压力调节系统，以确保对工艺参数的精确控制，并在整个蚀刻过程中保持稳定的等离子体环境。Planar 200的关键特性之一是其先进的晶圆处理单元，它为直径达200 mm的基板提供高精度的定位和对准能力。这台机器使用户可以实现亚微米特征大小和最小边缘效果的精确蚀刻和灰分模式,从而提高设备产量和性能。晶圆处理工具是完全自动化的,可以编程为执行复杂的流程序列,而用户干预最少,吞吐量最大化,停机时间最小化。TRIKON Planar 200还具有最先进的流程监控资产,能够实时反馈和调整流程参数,以确保获得最佳效果。该模型配备了先进的端点检测机制、光发射光谱传感器和原位等离子体诊断工具，实时监测蚀刻速率、选择性、均匀性和其他关键过程参数。此反馈循环允许用户即时微调其流程,优化流程配方,并以高可重复性和可靠性实现所需的蚀刻和灰分结果。除了先进的工艺控制能力外，Planar 200还采用了用户友好的界面和软件，简化了设备的操作和维护。直观的图形用户界面提供了轻松访问流程配方、数据日志记录、系统诊断和故障排除工具，使用户无需大量培训或专业知识就能快速设置实验、分析结果和优化流程参数。该单元还具有远程监视和控制功能,使用户能够从远程位置访问计算机,并通过集中界面监督多个工具,以简化操作并提高效率。总体而言,TRIKON Planar 200是一种用途广泛且可靠的蚀刻器/asher工具,可为半导体及相关行业的各种微加工应用提供无与伦比的性能、精度和生产力。Planar 200以其先进的技术、先进的功能和用户友好的设计,是研究人员、工艺工程师和制造专业人员寻求以高吞吐量、重复性和过程控制实现卓越蚀刻和灰分结果的理想解决方桉。