二手 TRIKON Sigma 200 #9290660 待售

TRIKON Sigma 200是为各种半导体制造工艺而设计的高性能蚀刻工具。设备配备了一个强大的氙气闪光灯，可提供高达200 W的功率。系统还具有可变功率输出、高分辨率运动控制、用户可选择的工艺配方等高级功能。Sigma 200先进的光学器件可确保每个运动阶段的精确对准,而加工的铝制框架可提高刚度和单元稳定性,并提供方便的工作空间来安装样品阶段。TRIKON Sigma 200具有由先进的电机和编码器控制机控制的各种级运动，确保了蚀刻时的高度精度和重复性。Sigma 200中强大的氙气闪光灯提供了广阔的照明区域，这对于增强蚀刻工艺至关重要。此外，该工具还具有高精度的运动控制资产和先进的温度监测模型。这有助于确保在设定的温度范围内执行所有进程。TRIKON Sigma 200包含许多关键功能,使其非常适合各种半导体工艺。它配备了先进的光学透镜、精心设计的反射器室和双窗格窗口，有助于确保均匀的光强度分布。Sigma 200还具有最佳反射率和可调灯功率设置，让用户进一步微调蚀刻过程。此外，设备还配备了反射和扩散膜，防止元件照明和碎片堆积。TRIKON Sigma 200的高级软件接口提供了对蚀刻过程的完全控制。它提供了设置、控制和监视诸如蚀刻深度、蚀刻面积、循环数、脉冲长度、脉冲能量和加载方向等过程的能力。此外，系统还具有强大的用户配方，使用户能够保存和回忆各种算法和设置。总体而言,Sigma 200为各种半导体应用提供了最佳蚀刻解决方桉。其先进的光学设备、强大的氙气闪光灯和精确的控制系统使其非常适合半导体制造过程。其可自定义的功能和用户友好的界面促进了高效和可靠的结果。