二手 TRIKON Sigma 200 #9293542 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9293542
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Sputtering system, 6"
Triple rack for RF Power supply
Turbo controller
Dealer controller
Main computer (CTC)
Data logger computer
AC Tray
Rack controller
Platen heater controller
RGA Controller
Operating system: FlexOS Version 3.01S
VCE (A & B):
Process: Wafers loaded, pumped and mapped prior
Vent gas: Nitrogen
Hot Sputter Etch (HSE):
Etch
Preheat module
Power (Coil and platen): 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 Generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
50 SCCM MFC
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450 C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (TiN):
Deposit Ti and TiN
Platen RF bias power: 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
100 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (Al):
Deposit Al
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Transport chamber (Dealer):
Turbo pump on board
Vent gas: Nitrogen
Metal wafer cassette
1990 vintage.
TRIKON Sigma 200是一款蚀刻器/asher，设计用于蚀刻钢、黄铜和其他金属等各种材料。适用于金属加工、原型制作等需要极精确蚀刻或灰化的特殊工艺。该系统采用单容器蚀刻冷却室和竖臂提升系统，方便物料处理。蚀刻室采用6毫米厚的不锈钢制成，右侧装有一个50毫米高的观赏窗和一个可移动的盖板。蚀刻室内充填有氙气、氢气或其他惰性气体。用数字高温计监测温度，可从室温调节到1,000 °C。手臂提升系统手动操作，让使用者以流畅准确的方式移动腔室内的物料。Sigma 200由0.4 kW电源电机供电。它具有一个自动过程计时器和用于读出温度、蚀刻时间和其他参数的数字显示屏。它配备了一个自动温度控制，以保持最佳的加工条件，以及为增加安全性的过温保护。蚀刻室由安全开关固定,具有多种安全功能,如温度和压力的自动关闭保护。该处理器是为实现最佳效率而设计的。它配备了一个用于增强气流的再生鼓风机，可以通过装置侧面的控制面板进行调节。这样可以改善蚀刻效果。它还具有先进的热模拟技术，可用于在不锈钢和黄铜等材料上创建复杂的蚀刻图样或微蚀刻。总体而言,TRIKON Sigma 200是一款可靠且功能强大的蚀刻器、asher和处理器,非常适合用于需要精确蚀刻或灰化结果的各种应用程序。凭借其直观的设计、可定制的设置和先进的安全功能,用户可以轻松高效地创建高质量的产品。
还没有评论