二手 TRIKON Sigma 200 #9311777 待售

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ID: 9311777
晶圆大小: 8"
优质的: 1990
Sputtering system, 6" (2) Load locks: VCE A, VCE B Turbo pump, 8" Hot Sputter Etch (HSE) chamber (2) Deposition chambers: Ti / TiN, Al (2) PVD Chambers (3) Cryo compressors (8200 Type) Triple rack for RF power supply Turbo controller Dealer controller Main computer (CTC) Data logger computer AC Tray Rack controller Platen heater controller Half height rack for DC power supply Operating system: FlexOS Electrical cables Power box Cryolines Does not include: Mechanical pump RGA Controller.
TRIKON Sigma 200是为中型工艺开发而设计的高级蚀刻器/asher。它具有高精度的性能和激光光学性能,能够进行精确的蚀刻和灰化,从而获得最佳效果。由一个直观的,易于使用的触摸屏界面控制的六轴机器人机械手组成的设备。该系统具有坚固耐用的结构,可承受恶劣的条件,确保可靠的操作和准确性。Sigma 200提供了最先进的设计,能够对玻璃、金属、陶瓷和液晶聚合物等多种材料进行蚀刻和灰化。其烧蚀工艺采用多种激光器,包括紫外线、红外和YAG。对称腔室设计允许可重复的中等规模工艺具有极好的均匀性。其30 cm x 30 cm x 30 cm的腔室尺寸是完美的成型规模工艺开发。它为蚀刻和灰化提供了干燥和潮湿的环境,能够更好地控制材料和提高成功率。其动态温带控制使其即使在高速下也能表现出色。可以调整Sigma 200以使介电掩模的尺寸适应正在处理的设备,允许精确蚀刻0.05至5.00 mm的特征尺寸。高精度反射镜单元在提供每个工艺步骤所需光子的精确数量的同时,还提供了卓越的工艺参数可重复性。它的3D图像扫描仪和对准系统使对准和对准精度提高到0.5 m。该机器还配备了一台清除碎屑的机器,可防止产品在加工步骤中堆积颗粒,从而确保最优质的最终产品。TRIKON Sigma 200还有一个高端安全工具,包括安全自动关闭、紧急停止开关、互锁资产和排气罩。Sigma 200的最大处理速度为20 cm/min,非常适合中等规模的工艺。它也有先进的thermo-flood和thermo-reflux方法,可用于在短短2分钟内创建均匀的结构。TRIKON Sigma 200具有直观的触摸屏界面,易于使用,提供了最高的准确性和可重复性,确保了可靠处理的结果。凭借其高精度性能、石英金刚石涂层激光光学、高端安全模型,Sigma 200是进行中等规模蚀刻和灰化工艺的理想选择。
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