二手 TRIKON Sigma FxP #9221542 待售
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ID: 9221542
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8"
Includes robot
Hot sputter etch chamber: Station 2 (DepE-HSE)
Spares parts:
(1) Pack of 6 Lamp pack: 1000 W
(2) Generic dep platen caps, 8"
(2) Rev B extended anode rings
(2) Assembly solid chamber shields
(2) Extended shutter slot shields
(2) Platen shields, 8"
(2) Back sputter shields, 8"
Two load locks:
Station 1: VCEA
Station 8: VCEB
(3) Deposition chambers:
Station 3 (DepC- HU platen aluminium)
Station 4 (DepB - HiFill TTN)
Station 5 (DepA - HiFill TTN)
Pre heat chamber: Station 7
Orienter: Station 9 (In front of VCEA)
Top cooler for cooling wafers: Station 10 (In front of VCEB)
(2) Cryo compressors 9600
Transport chamber
MX800 Upgraded to GTM
CTC Upgraded to Win7
Process modules controller (PC104) upgraded
Process modules:
DepA
DepB
DepC and DepE
Pump down: Dry roughing pump and blower
DC Power supplies: Single and double rack
Turbo controller
Main computer
Main AC
RF / DC Power supplies
Chamber AC control
Heat exchanger
Temperature set point: 20°C
Resistivity set point: >50 k Ohm
Recirculating flow: 20 gpm
Recirculating pressure: 22 psi.
TRIKON Sigma FxP是一整套精密工艺工具，设计用于在超清洁环境中对聚酰亚胺和其他基材进行破土蚀刻、灰化和固化。该设备为包括聚酰亚胺和硅在内的任何基材的精细蚀刻、蚀刻和灰化提供了可靠和可扩展的结果。该系统旨在通过先进的自动化和精确的车载控制和监控提供可靠和可重复的蚀刻、灰化和固化。Sigma FxP采用模块化平台设计,可提供高灵活性和功能可扩展性。它具有一个高端的全自动平台,可以针对每一个特定的应用程序或基板进行定制,从而可以对所有蚀刻和灰化参数进行精确的微调。这种坚固的工艺工具提供了原位工艺控制、出色的蚀刻和灰化率以及极低水平的残留物。蚀刻和灰化过程由单或多气体发生器模块启用，最大流量为25 sccm，最小气体压力为2 psig。这种先进的装置能够监测准确的气体成分，以便更好地进行蚀刻和灰化控制和再现性。此外，机器可以用用户定义的配方进行编程，可以随时召回，以最大的重复性重复过程。集成的Advanced Control模块监视流程参数,并提供直观的用户界面,包括直观的图形显示和可提供实时流程信息的多个视图。该工具还提供板载诊断资产,用于监控关键参数以实现最佳流程性能和维护,并提供模型警报以及时采取行动。TRIKON Sigma FxP设备还提供了自动感应模式，允许用户在蚀刻或灰化条件不佳的情况下切换到不同的蚀刻或灰化气体。这种模式使得系统具有高度的通用性，允许蚀刻和灰化复杂的基板，而无需任何手动参数调整。该股还提供综合流程改进工具和选项，如电子签名捕获和审计跟踪能力，以帮助确保流程条件的最佳和详细记录。这些工具有助于最大限度地提高最终产品质量。
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