二手 TRION 2340 #9058313 待售

TRION 2340是一个蚀刻器/asher，设计提供优于传统蚀刻器的蚀刻和ashing结果。这种工具特别适合于许多类型的材料的模具附着和钝化，如聚酰亚胺、半导体、光掩模和其他有机金属层。2340具有双区域设计,可提供精确控制和统一微蚀刻速率的高效蚀刻和ashing循环。上腔配有加热的高压偏置天线，有助于集中等离子体，确保基板上的均匀性。下腔的设计目的是有效去除底物表面的污染物，并为聚酰亚胺和其他复杂有机物提供化学灰化。TRION 2340具有先进的控制系统，使操作员能够监视和微调蚀刻和灰度循环。可以调整电源以进行积极的蚀刻和灰化,以确保最高程度的材料去除。温度和气流也可调节，以帮助控制蚀刻或灰化特征的数量和大小。2340技术的设计使得它能够在真空和惰性大气中操作。这有助于对整个蚀刻/灰化循环进行严格控制,并提高基板的均匀性。此外，设计还包括优化的等离子体源特性，以减少粒子生成和提高过程稳定性。TRION 2340配备了触摸屏数字显示屏，为操作员提供了蚀刻或灰度处理的全面视图。此显示器允许用户根据工艺要求轻松管理、监控和调整气流、温度和电压等参数。所提供的信息包括蚀刻轮廓和工艺设置信息，以便于跟踪和控制蚀刻和灰化工艺。2340是一个令人难以置信的可靠和高效的蚀刻器/asher。其先进的设计、精密的控制系统和全面的数字显示使其成为各种不同材料的蚀刻和灰化工艺的理想选择。