二手 TRION Minilock II #9389392 待售
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ID: 9389392
Reactive Ion Etcher (RIE)
ADVANCE ENERGY RFX 600A RF Plasma generator
MKS 153 Control valve
VAT 02110-BH24-0001/0039 Rectangular gate valve
Gas cabinet
Load lock
(6) UNIT INSTRUMENTS Mass flow controller:
(4) UFC-1800 (Gases: N2, (2) 100cc, and (2) 250cc)
(2) UFC-1660 (100cc BCl3, and 100cc CL2).
TRION Minilock II是在半导体、微电子和电子工业中高精度蚀刻和灰化应用的先进蚀刻器/灰化器理想。利用三级选择性强制空气蚀刻技术，确保精确、可重复的蚀刻/灰烬深度控制。蚀刻表面和灰度表面均具有均匀的特性,可提供更高程度的可重复性。该设备由一个高性能的金属加固外壳和一个集成风扇单元组成，以提供有效的散热，并最大限度地减少蚀刻和灰化材料的热分解。根据正在执行的过程,蚀刻器/Asher可以配备多个内部选项,例如寒板、网状过滤器、冷却液罐和清除盖。它还包括一个内置温度调节功能的微处理器控制器，允许用户从几个预先设定的温度点中选择不同类型的蚀刻和燃烧。集成到蚀刻器/asher中的温度传感器还可以对热过程进行实时监控。该系统具有自动温度恢复功能,可帮助在整个蚀刻/燃烧过程中保持温度均匀。此功能可用于减少介质的回火,从而在不过度蚀刻或过度燃烧的情况下获得更好的效果。该单元还包括一个集成计时器机器，可用于各种蚀刻和ashing循环，并允许用户为每个循环设置特定的开始和停止时间。这确保了对蚀刻/烧制过程的精确控制。该工具还配备了一个原位气流调节器，该调节器可保持均匀蚀刻/燃烧的最佳气压。这有助于减少气体过压可能造成的损害。资产还可以配备远程控制模型，允许用户从远程位置启动、停止和控制蚀刻/灰烬过程。它具有强大的安全功能,如紧急电源关闭按钮、过热传感器、锁存式电磁阀以及所有安全联锁装置。Minilock II提供高精度和精密的蚀刻/烧制，是商业和工业应用的完美蚀刻器/asher。其金属增强外壳、原位气流调节器、热调节、集成计时器和坚固的安全特性使其成为可靠的设备,非常适合需要均匀、精确的表面蚀刻/发布的应用。
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