二手 TRION MP 600M HS #293668413 待售

TRION MP 600M HS是一种高级蚀刻器/asher,用于各种精确处理任务。它具有许多功能,使其成为各种操作的理想选择。这款蚀刻器/asher采用现场验证、可靠且易于管理的腔室体系结构构建,该体系结构提供受控的热性能、可靠的真空设备完整性以及专为支持过程开发而设计的直观体系结构。该单元还具有可定制的阴极设计,针对要求最苛刻的工艺进行了优化。其电源具有先进的数字脉冲控制功能，提供高功率和高频运行，不像许多竞争机型。此外,该设备还具有自我诊断功能,可不断监控系统。这些自我诊断可方便地进行故障排除,以识别潜在问题及其原因。该机器非常坚固，并配有一个完整的安全单元，提供冗余数据收集、自动安全联锁和一个集成的安全监视机，以确保所有操作员在编写过程中保持安全。该单元具有一个完全自动化的过程控制工具，它提供对蚀刻过程的最终控制，从初始设置到操作结束。过程控制允许精确控制蚀刻器/灰烬室环境,包括温度和压力。它还为用户提供了许多调整蚀刻器速度、压力和曝光时间的选项。此外,高级反馈资产有助于确保每个晶圆运行始终准确。对于高吞吐量处理,MP 600M HS提供了一系列安装选项,可确保正确放置样品。此单元还使用户能够集成多达四个不同的蚀刻器/asher腔室,以实现更大的进程。TRION MP 600M HS具有很高的兼容性,能够处理各种蚀刻气体和材料。这个单元设计方便5X 200毫米晶片或最多10个基板6英寸或更小。对于寻求可靠、准确的蚀刻/蚀刻解决方桉的人员来说,此蚀刻器/蚀刻器是一种经济高效的选择。它得益于简化可靠的腔室架构、先进的过程控制模型和自动化的安全性。MP 600M HS是生产或研究应用的理想选择。