二手 TRION Oracle #193648 待售
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ID: 193648
Plasma etch and deposition system
VARIAN Turbo-V 300 ICE MacroTorr Turbo pump
VARIAN MoniTorr Transducer and controller
MKS Type 153 Control valve
Gas cabinets with control valves
Computer with controller cards.
TRION Oracle是专门为半导体加工而设计的蚀刻器/asher。其紧凑的设计和集成的用户界面使其成为制造和装配过程的理想解决方桉。蚀刻器/灰化器的设计是为了在蚀刻/灰分循环中实现多功能性和速度,即使对于复杂结构上的极薄薄膜也是如此。该设备提供精细的光学控制和较高的处理温度,以确保可靠的结果。Oracle 蚀刻器/asher提供了一系列用于处理各种材料和基材的特性和功能,如硅、砷化氙和蓝宝石。它能够蚀刻具有多种光刻图样的薄膜。该系统配备了可微调的光学单元,以精确控制蚀刻/灰烬循环过程。由于其特殊的温度控制机确保了蚀刻和洗涤时的均匀加热,因此蚀刻器/洗涤器可以处理各种敏感结构。此外,该工具拥有独特的气刀冷却资产和低温冷却模型,以确保薄膜和复杂结构上的温度均匀,并配备高分辨率压力控制设备,以保持精确和可重复的蚀刻过程。该系统还可以为不同的基材和材料提供不同的蚀刻速率,使薄膜能够精细蚀刻。TRION Oracle的灵活性和模块化使其能够针对不同的应用程序进行定制。蚀刻器/asher紧凑且易于使用,允许用户快速设置流程,而无需将设备脱机。高级诊断、支持Web和智能切割工具有助于进一步简化处理。Oracle直观的用户界面专为实现最佳性能和易用性而设计,使操作员能够快速控制重要参数,如蚀刻深度、蚀刻持续时间和循环时间。此外,该蚀刻器还配备了先进的软件,可以优化复杂结构的蚀刻和退火过程,并对图像质量和结果进行实时监控。总体而言,TRION Oracle是一款高效、可靠的蚀刻器/asher,可在广泛的处理任务中提供平稳、准确的结果。该装置非常适合与半导体制造和组装工艺有关的生产和研究,将有助于用户实现一致的产品质量和高产率。
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