二手 TRION Phantom II #9225903 待售

TRION Phantom II是一种蚀刻器/asher，设计用于加工直径达200 mm的基板。它是一种先进的等离子体蚀刻和灰化设备，具有变频射频发生器，可提供高功率、可重复的处理控制。其先进的工艺监测和控制软件允许可靠的基板处理，并在多个晶圆基板上得到统一的结果。该系统对包括多晶硅、聚酰亚胺、硅酸盐玻璃和砷化的多种材料保持均匀、安全的蚀刻和灰化。Phantom II具有直观的图形用户界面（GUI）,使用户能够通过单击鼠标几次快速设置和脚本自动进程。其先进的工艺控制单元允许在手动和自动模式下获得最佳的蚀刻和灰化效果。该机设计坚固灵活，可用于化学机械平面化（CMP）等先进工艺步骤。工艺参数对于不同的应用或基材都是可以快速调节的，使得它适用于各种各样的材料。根据所处理的材料类型,该工具可配置多个用于蚀刻或灰化的工艺气体供应。其加工室设有垂直和水平气体输送系统，将气体均匀地分布通过腔底，防止出现热点。同时，基板支架可以加热到400摄氏度，以确保工艺的可重复性。为了提高安全性和可靠性，TRION Phantom II还包括气体管理系统，用于监测和控制氮气、氙气、氧气和二氧化碳等工艺气体的水平。其真空管理资产确保真空水平保持在指定范围内。该型号也是轻量化和设计为更大的舒适性符合人体工程学的操作。总体而言,Phantom II是一款可靠且安全的蚀刻器/灰化器,具有多种高级功能,可提供统一的蚀刻和灰化工艺。它的用户友好界面使设置和脚本编写比以往任何时候都容易,而可靠的过程控制和过程监控则提供一致的结果。该设备轻巧的框架和符合人体工程学的设计使其适合长期、大型的项目。