二手 TRION Phantom III #189297 待售

TRION Phantom III是一款蚀刻器和asher，旨在提供精确高效的材料处理。适用于多个领域的应用，包括半导体器件的制造、薄膜结构的生产、精密元件的制造。该设备的最大晶圆尺寸为8英寸，能够用各种气体进行蚀刻。它的内置诊断允许方便的故障排除和维护，而工厂的先进控制系统保证过程的稳定性和可重复性。Phantom III是使用元件式架构构造的；这允许用户为特定应用程序安装组件,例如单个晶片处理或批处理。蚀刻和灰化是在水平或垂直方向上进行的,从而实现更高的生产率和更精确的结果。使用的特定部件包括耐腐蚀合金、石英管和阳极、用于阳极沉积的钛基材料以及各种绝缘体和电容器。该单元配备了远程触摸屏，可实时监控蚀刻和灰化过程。此监控包括温度、压力和蚀刻时间。它还允许一个调整功率设置，等离子体气体压力和过程变量以获得更高的精度。TRION Phantom III的蚀刻速率约为每张通行证一次蚀刻，机器的其他特性包括蚀刻颗粒提取系统，有助于去除蚀刻室中的有害颗粒，以及工艺时间优化，从而减少了不需要的蚀刻时间。等离子体源也可用于修改蚀刻动力学，从而提高蚀刻表面的均匀性。Phantom III被设计为相对无维护，大部分组件可在内部更换或维修。它还被设计为与其他标准处理设备结合使用，如负载锁、输送机和真空过滤装置。总之，TRION Phantom III是一种高度可靠和高效的蚀刻器和asher，适合精确和困难的应用。它提供了一系列高级功能,如远程监控和过程优化,以及更传统的蚀刻和灰化功能。这使得它非常适合用于各种行业，包括半导体制造、薄膜结构生产和精密元件制造。