二手 TRION Phantom III #293750011 待售

TRION Phantom III是一款最先进的蚀刻器/asher,旨在实现自动化的高吞吐量、精确度和一致的结果。它是研发铸造厂的重要工具，需要快速和精确的加工，才能在工业规模上产生复杂的形状和特征。Phantom III利用双聚焦离子束（FIB）设备,利用两种类型的离子束-一种用于蚀刻,一种用于沉积-同时处理同一样品。这样可以加快处理时间并提高准确性。双聚焦离子束还提供了更高的光束电流稳定性、并发的离子束能量和光斑尺寸调整以及更广泛的工艺参数等优点。TRION Phantom III能够处理各种各样的晶片，从通常用E-Beam处理的晶片到需要离子束蚀刻和灰化的晶片。Phantom III具有高达100：1的高长宽比蚀刻、从特征到特征的无缝变换以及快速可靠的处理,是一款用途广泛、功能强大的蚀刻工具。TRION Phantom III 蚀刻器/asher还配备了其他功能，如原位加热系统、防反冲机构以及允许在受控环境中快速过程变化的工艺参数。此外,还可以使用定制设计的蚀刻配方对设备进行编程,从而可以对蚀刻结果进行完整的定制。Phantom III还设有实时流程监控机，允许用户实时监控流程，以确保一致性和准确性。该工具还允许直接访问流程数据和统计流程控制（SPC）。结合其广泛的功能，TRION Phantom III在其设计中包含了集成的安全特性。这些特征的核心是主动溅射保护资产，它提供了防止样品污染和工艺违规的保护。总之,Phantom III是一款精密的蚀刻器/asher,专为自动化的高吞吐量、精确度和一致的结果而设计。它采用双聚焦离子束模型，能够处理各种各样的晶片，并包括主动溅射保护设备等安全特性。凭借强大的特性和可定制性，TRION Phantom III是研发铸造厂的绝佳工具。