二手 TRION Sirus T2 #9235359 待售

TRION Sirus T2
ID: 9235359
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Tabletop RIE system, 12" 2009 vintage.
TRION Sirus T2是一种最先进的蚀刻器/asher,旨在在各个领域创造精确、准确和可靠的结果。它能够使用各种蚀刻/灰烬和气体操作。它允许精确控制蚀刻速率,并创建无漂移或区域变化的高质量几何形状。Sirus T2由用于温度、计时器和工艺参数设置的数字微处理器控制系统提供动力,该系统能够精确控制蚀刻和灰化过程,从而实现可重复和稳定的工艺。此外,它还能够支持各种用于蚀刻和灰化工艺的化学品,包括O2、Ar、N2或其他化学气体。TRION Sirus T2还配备了高分辨率视觉系统,包括两个晶圆级对准系统。这允许每个晶片精确对准工艺室,并允许精确定位蚀刻尖端。蚀刻技巧是专门为提供最佳蚀刻轮廓而设计的技巧。这些提示协同工作,在晶圆芯片上提供均匀的蚀刻和灰化,得到精确准确的结果。Sirus T2提供多种安全功能,如工艺室通风和压力监测,以及符合ES2要求的容器和系统。它还能够监测和控制温度,并提供过程反馈,以确保最佳蚀刻和灰化结果和尽可能高的质量。该设备还配备了先进的软件功能,允许用户定制所使用气体的蚀刻速率、循环次数、时间和类型。此外,该软件还提供各种高级功能,包括配方管理和概念级库,使用户能够快速开发和学习新配方。TRION Sirus T2设计精确度、准确性和可靠性,非常适合实验室、大学、研发和生产设施使用。它提供了灵活性、可扩展性和可靠性,使其能够承担最具挑战性的蚀刻和灰化任务。凭借其先进的功能,此蚀刻器/asher提供了卓越的性能、准确性和可靠性。
还没有评论