二手 TRION Titan #293670453 待售

TRION Titan是一种专用于各种材料的深反应性离子蚀刻器/asher。它具有独特的设计,有两个用于蚀刻和灰化的电隔离室,可消除样品污染,同时实现高生产率、经济高效的工艺。该设备具有优越的轮廓特性和高通量的精密蚀刻和灰化。它能够将薄膜从几埃蚀刻成几微米的厚度。蚀刻过程由射频电源提供动力,将1到1000瓦的功率传递到集成到蚀刻室的柱子上。该柱将射频能量转化为离子，然后向样品加速。该员额的高度可调，使射频频率与传入离子匹配。通过注入蚀刻气体增强蚀刻工艺，提高了蚀刻速率，提高了蚀刻深度均匀性。该系统可用于干蚀刻、湿蚀刻和定向蚀刻。灰化过程由直流电源提供动力,该直流电源将高达一千伏的功率传递到集成到灰化室中的立柱上。然后，柱子将直流能量转化为离子，然后向样品加速。这些离子从样品中去除材料的顶层。与蚀刻一样，灰化过程可以通过再次注入灰化气体来增加灰化速率和由此产生的深度均匀性。土卫六安装了一整套流程监控和计量硬件，以确保每个样品的精确蚀刻和灰度。该装置能够在蚀刻和灰化过程中监测原位端点检测，从而能够精确控制蚀刻和灰化轮廓。此外，这台机器还能够使用激光干涉测量和光学剖面仪测量产生的剖面图。TRION Titan是研究和生产各种材料的理想工具，特别是用于高长宽比MEMS、纳米图桉和微流体等应用，因为它具有独特的蚀刻和灰度设计。