二手 ULVAC CE-300I #9055173 待售

ULVAC CE-300I
ID: 9055173
优质的: 2004
Etcher, 6" Load lock type Power supply: Antenna, 1kW, 13.56MHz Pumping system: TMP-DRP-APC ESC hold Gases: CF4, C3FF8, He, Ar, O2 2004 vintage.
ULVAC CE-300I是一种蚀刻器,又称asher,由ULVAC设计制造,ULVAC是各行业真空科学技术的领先供应商。其精巧的设计,提供先进的技术和特别紧凑的形式,使其适合工业和学术生产。CE-300I利用物理和化学工艺精密、精密地处理诸如电子技术和其他基材等薄膜部件。它利用各种非热过程来创建精确的图样、蚀刻不均匀的表面以及涂覆各种物质的材料。ULVAC CE-300I的工作区域约为300 mm x 300 mm,最大高度为110mm。它配备了两个独立的电源:一个离子源和一个底物源。离子源提供可变光束电流和电压,工作面积约为120 mm x 150 mm。离子源允许将选定的材料溅射到基材上。控制源提供了广泛的容量控制和各种程序级控制功能。Asher还具有多种安全功能,包括自动门锁机构和过温监视器。门锁机构结合内置安全警报器,确保用户和环境的最大安全。此外,减压系统有助于保持最佳工作环境,同时防止任何污染。CE-300I室分为两个隔间,便于清洗和维护。主室配有两根高纯度铝管和1.5米的热热铵绝缘,高效传热。此外,asher使用双频射频发生器,以确保稳定的操作和均匀蚀刻基板材料。ULVAC CE-300I在一系列电源上运行,包括三相交流输入、5-243VAC范围和50/60 Hz频率。此外,CE-300I还具有各种有用的输入、输出和端口,以便于控制和连接。它设计为易于操作,并为简单操作提供直观、用户友好的界面。总之,ULVAC CE-300I是一种面向工业和学术生产的先进蚀刻器.它外形紧凑,设计精密,操作高效,是基材精密加工和涂层的理想选择。
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