二手 ULVAC CS-300R #293607110 待售

ULVAC CS-300R
ID: 293607110
晶圆大小: 2"-6"
ICP Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-6" Gases: ITO, Ti, GaN, PR, SiO2 PC Non-functional.
ULVAC CS-300R是一种蚀刻/灰化设备,旨在快速、精确和干净地处理各种材料,如硅和金属。它非常适合制造半导体工业、汽车、家用电器和电源等领域的微机电系统。机器由一个工艺室、一个真空室和一个废气处理器的冷却单元组成。CS-300R工艺室由不锈钢制成,保证了高性能的蚀刻和灰化工艺的整洁和准确。该腔室的设计易于快速清洗、维护和更换,非常适合可重复、可靠的工艺。ULVAC CS-300R真空系统使用两级泵送装置,在腔室内达到2.25 x 10-3 Pa的压力,允许精确、均匀的蚀刻和灰化过程,即使使用更大规模的基板。这台机器还可以更快地抽出时间和更高的工艺纯度。CS-300R具有处理各种参数的能力,包括温度范围、流量和压力。这种灵活性使它能够处理各种蚀刻和灰化任务。此外,利用先进的流体动力蚀刻技术,该机能够有效减少蚀刻周期,最大限度地减少浪费。除了这些功能外,ULVAC CS-300R还集成了高级安全功能,如警报和自动关闭,以确保过程安全进行。此外,该工具还配备了内置配方管理资产,可帮助用户轻松创建、存储和修改配方,以实现可重复、精确的蚀刻和灰化过程。总体而言,CS-300R提供了满足精确制造要求的蚀刻和灰化解决方桉。凭借它的灵活性和控制性,它可以处理范围广泛、温度、压力和时间精确的材料,以达到精确的蚀刻和灰化效果。它非常适合用于半导体、汽车、家用电器和电源行业。
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