二手 ULVAC CSE-1100 #9055174 待售

ULVAC CSE-1100是一个先进的蚀刻器/asher系统，用于半导体行业的苛刻应用。该系统能够在各种材料中产生精细的结构蚀刻，其中包括硅、移植物和砷。CSE-1100具有150毫米单晶片负载锁定室和升级的300毫米晶片容量,非常适合大批量生产。ULVAC CSE-1100的核心是它的等离子体源。这种强大的等离子体源具有独特的长寿命设计，可提高生产率。该源还具有内置气体平衡控制器，可以精确调整腔室压力和气体流量，以优化蚀刻性能。CSE-1100的超高速处理器和大容量内存是专门为蚀刻应用而构建的,可以轻松处理复杂的蚀刻过程。处理器还包括一个内置的图形编辑器，允许为每个应用程序轻松创建和操作配方。接口盒提供对ULVAC CSE-1100的多个系统的控制和监控，包括控制器、过程监视器和安全系统。它还包括用于连接到网络或PC以进行远程操作的RS485接口。CSE-1100的高级设计还包括一个复杂的软件包,其中包括用于过程控制和优化的各种功能。其创新的蚀刻配方和模煳逻辑控制允许精密蚀刻结果与最小变化的过程参数。ULVAC CSE-1100是一个功能强大的蚀刻系统,具有许多功能,旨在提高先进半导体蚀刻的吞吐量和生产质量。其高性能等离子体源、智能处理器和精密软件使其成为蚀刻复杂结构的理想工具。