二手 ULVAC CSE-1100 #9055175 待售

ULVAC CSE-1100是为快速生产3维微观结构而设计的高分辨率蚀刻器/asher。其自旋蚀刻/灰分技术可用于MEMS和半导体基板的蚀刻、微流体和纳米结构的制造、厚膜微电路的形成等多种应用。CSE-1100是一种自动蚀刻/灰化设备,同时利用湿蚀刻和干蚀刻/灰化工艺。它的湿蚀刻能力允许对各种不同的基板进行蚀刻，包括铝、硅和的。ULVAC CSE-1100的干蚀刻/灰化能力使三维结构的形成具有高精度和重复性。CSE-1100配备了两个独立控制的蚀刻/灰化系统。主系统由真空室和蚀刻/ashing阴极组成，而第二单元则由激光光源和旋转ashing盘组成。在蚀刻/灰化循环期间，基板被放置在真空室内阴极和阳极之间。激光光源照亮基板，提供必要的能量开始蚀刻/灰化过程。当圆盘旋转时,它会逐渐去除不需要的材料并塑造所需的微观结构。ULVAC CSE-1100能够以高达200 cm/h的速度蚀刻/冲洗。此外，它的数字精密电机和传感器提供了高精度和重复性，允许生产复杂的3维结构，几乎没有缺陷。CSE-1100的板载控制器确保了蚀刻/灰化过程的一致性,提供了一台控制良好且可重现的机器。此外，ULVAC CSE-1100还配备了集成真空传感器，通过监测真空室内的压力变化来优化蚀刻/灰化过程。总体而言，CSE-1100提供了一种生产三维微观结构的有效和可靠的方法。其高精度的蚀刻/灰化工具可以制造复杂的微结构,并具有最小的缺陷和一致的结果。此外，它的自动蚀刻/灰化工艺和板载真空传感器提供了可靠和可重现的蚀刻/灰化资产。