二手 ULVAC CX-500Z #293758418 待售

ULVAC CX-500Z是为半导体、MEMS（微机电系统）和先进薄膜器件制造中的精密蚀刻和清洗过程而设计的先进等离子体蚀刻器和asher设备。这种高度通用的工具提供了广泛的特性和功能,以满足现代制造工艺的苛刻要求。CX-500Z利用高密度等离子体源在各种基材上提供高效、均匀的蚀刻和灰化工艺，包括硅、砷化的和其他半导体材料。该系统配备了精密的射频电源和气体输送单元，允许精确控制功率、压力、气体流量、温度等工艺参数。ULVAC CX-500Z的一个主要特点是其双模操作，使其能够在同一腔室中同时执行蚀刻和灰化过程。此功能可提高处理工作流的灵活性和效率,从而提高工作效率并缩短周期时间。该机器还采用了一种获得专利的气体分配工具，可确保晶片的均匀性和可重复性，从而实现一致的蚀刻速率和轮廓。这对于在先进的半导体制造中实现高工艺产量和器件性能至关重要。此外,CX-500Z还配备了最先进的端点检测资产,可实时监控过程参数,以精确控制蚀刻深度和端点,从而确保准确可靠的过程结果。这一特点对于关键蚀刻工艺尤为重要，因为在这些工艺中，对材料去除的精确控制至关重要。该模型还设计了用户友好的软件接口，允许操作员轻松编程和控制流程配方，监控流程参数，实时分析数据。这种直观的界面简化了操作，并最大限度地减少了潜在的错误，从而导致更加一致和可重现的过程结果。此外，ULVAC CX-500Z还配备了坚固可靠的真空设备，可实现快速的泵降时间、高真空水平和低基压。这确保了出色的工艺一致性和可重复性,即使在大批量生产环境中也是如此。总体而言，CX-500Z是一个高度先进的等离子体蚀刻器和asher系统，它为半导体和MEMS制造中的精密蚀刻和清洁过程提供了广泛的特性和功能。其双模运行、高密度等离子体源、专利气体分配单元、端点检测技术、用户友好界面、鲁棒真空机，使其成为多种制造应用的多功能强大工具。