二手 ULVAC Enviro I #9014612 待售

ULVAC Enviro I是为金属、合金、有时还有半导体材料的快速蚀刻和图案设计的蚀刻器/灰化器。它是一种小巧、用户友好的设备,具有先进的控制器和强大的电动舞台,能够在高速下精确蚀刻目标材料。该系统采用模块化设计，便于维护和调整各种工艺参数。EnviroI配备了先进的三相旋转器，以一致的速率对大型目标区域进行统一蚀刻。它的10 x 10 cm工艺室可确保即使是最好的设备部件的最大证据,而低压极限开关可确保最佳安全性。该装置还包括一个高温电阻加热器,可快速加热至500 °C的温度,以及一个高压电阻加热器,非常适合蚀刻高达250 Torr的过程。此外，ULVAC Enviro I配备了自动压力控制和真空排气，以及等离子体蚀刻、基板清洗、预蚀刻和深度剖析等功能。Enviro I直观的基于PC的控制允许轻松访问所有功能和编程,允许用户即时调整流程设置。该机还具有一种智能自动模式，在这种模式下，每次蚀刻或制图任务时，室内大气和压力都会逐步地自动调整到目标压力。多功能工具提供了灵活性和便利性,非常适合为晶片制作图案、记住口罩或精确快速地蚀刻金属零件。