二手 ULVAC Enviro II #293813794 待售
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ULVAC Enviro II是一种蚀刻器/asher，用于等离子体蚀刻、灰化和清洁操作等多种应用。它是一种垂直加载、全面的蚀刻器/asher,具有多种自动化功能和真空设备配置。该机设计用于工业规模生产，但也可根据需要用于小规模操作。它具有柔性基板传输系统，允许处理单件和多件基板的各种材料表面。该设备能够支持广泛的蚀刻和灰分处理,使用户能够精确控制电压、温度、浓度和持续时间等参数。此外，全自动晶圆传输机制确保了高度的可靠性和可重复性。Enviro II包含一台精密的真空机，适用于各种类型的蚀刻和灰化应用。它设计用于最大程度的过程均匀性和可重复性，同时提供过程控制和监控功能。该机的真空工具结合了低压泵和编程的高真空阀，以提高通量和工艺均匀性。资产可以根据应用进行定制，并设计成最大限度地减少微粒和保持一致的工艺环境。ULVAC Enviro II还采用了先进的冷却剂模型，用于特殊蚀刻和干燥工艺应用。加热器、冷却器和变频驱动器（VFD）等组件设计为最大限度地提高流体流量和冷却速率,从而提高工艺效率和可靠性。Enviro II是可定制的，以满足各种基材加工的需求。它具有开放式体系结构,使技术人员能够轻松访问所有组件,从而实现快速维护和维修。此外，该机器包括一个集成的过程控制器和诊断软件包与交互式图形用户界面。这种类型的软件包使得设置、控制和诊断蚀刻和灰化过程变得更加容易。综上所述，ULVAC Enviro II是为大型和小型生产而设计的自动蚀刻清洗设备。它采用先进的真空、冷却剂和控制器技术，为提高工艺效率和可靠性量身定制。该系统是开放式架构的,易于维护和诊断,以及用于设置和操作的直观用户界面。
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