二手 ULVAC Enviro II #9272299 待售

ULVAC Enviro II是ULVAC Technologies Inc.开发的最先进的高性能蚀刻/灰化设备。ULVAE Enviro II非常适合半导体工业和材料科学中需要精确、均匀蚀刻、灰化或结晶的应用。ULVAC Enviro II是一个具有广泛工艺能力的单室蚀刻/灰化系统。它有一个先进的远程过程控制单元，允许手动和自动操作。该机器在从惰性气体到蚀刻剂的各种加工气体中运行。具有全功能的闭环温压控制，产生均匀、可重复的工艺条件。Enviro II能够在广泛的温度、压力和大气条件下运行，以满足最苛刻的要求。该工具旨在提供一个清洁、无污染的工作环境，并具有自动样品装卸资产，以实现大批量生产。该模型采用高精度压力和温度传感控制，确保过程监控快速准确。ULVAC Enviro II还配备了强大的真空设备,具有强大的高速涡轮分子泵和旋转阀泵送系统,以及快速响应和长寿命电动真空阀。该单元非常适合沉积薄膜、沉积保形薄膜、灰化蚀刻、外延生长、退火和数据存储。Enviro II是为高通量生产而打造的。它得益于ULVAC先进的多批控制技术，改进了工艺气体溷合，进一步缩短了设置时间。它是一台具有hiSpec III数据记录和监视功能的生产就绪机器,具有GAT-Advance多点分析功能,具有出色的过程控制能力和实时数据监视功能。ULVAC Enviro II是关键蚀刻和灰化工艺的精美首选工具，旨在达到最高水平的准确性、可重复性和统一性。