二手 ULVAC Enviro #293590385 待售

ULVAC Enviro是一种蚀刻器/粉碎器设备,它提供了一种高效、经济高效的清洗和蚀刻各种材料的方法。它被设计为执行广泛的蚀刻、清洁和其他表面准备功能。它非常适合需要高精度清洁、蚀刻或其他表面准备操作的应用。Enviro系统采用了获得专利的真空提升和先进的工艺控制技术，从而提高了表面制备效果。该单元设计有一个消耗级，并有一个可移动/可更换级框架，这使它能够容纳各种晶圆大小和工艺参数。ULVAC Enviro单元的真空提升特性使单元在过程中能够移动基板，提高了表面制备的均匀性。利用Enviro进行蚀刻等操作，制造商凭借其统一、可重复的工艺控制，可以实现较高的蚀刻精度和更好的产量。实际上，从ULVAC Enviro机器获得的蚀刻精度比其他系统高出几倍。该工具还具有低温工艺控制电路，确保晶片上的热量分布均匀，确保蚀刻正确完成。Enviro资产还具有高级流程监控功能,可实时反馈流程参数和模型性能。这包括温度反馈、过程时间监控、熔化率监控和报警功能。此外，设备还配备了直观的图形用户界面（GUI），可让操作员轻松监控和调整蚀刻参数。这进一步提高了蚀刻工艺的准确性，使供应商能够执行更快的周转时间。ULVAC Enviro系统高度可定制，允许用户添加溅射、凋刻等各种专门蚀刻工艺。也可用于钝化、氧化、退火等各种非蚀刻操作。总体而言,Enviro是一个功能强大的蚀刻/asher单元,提供卓越的蚀刻性能。它易于定制并提供高级流程监控,确保更高的准确性和更快的周转时间。通过使用此机器,制造商可以确保其产品符合要求的标准,从而提高生产产量并提高客户满意度。