二手 ULVAC Enviro #9398706 待售

ULVAC Enviro是一个优越的蚀刻/灰化系统，旨在应对先进半导体制造工艺的挑战。它是一个先进的系统，具有高度可靠，自动的保护机制，对整个过程进行控制。该系统配备了自动感应和控制单元，以准确监控工艺条件，并提供高水平的蚀刻/灰化性能。Enviro具有直观的图形用户界面和触摸屏以及简单的图标驱动菜单,可轻松操作和搜索功能。用户友好的软件允许快速存储和召回多达十种不同的蚀刻/灰度配方。随附的冷却和加热方桉附有预置温度和工艺时间建议，可根据具体应用进行调整。ULVAC Enviro提供4个处理室，每个室都有单独的控制。为确保高质量的蚀刻/灰化效果,ULVAC蚀刻室配有可调板组件,可在整个板区域内提供高度均匀的蚀刻图样。这有助于在同一批处理周期中保持不同半导体材料的蚀刻/灰化特性。蚀刻/粉碎器可以连接到一个完整的智能晶片修剪单元，该单元具有自动气体溷合物，以满足工艺的需要。Enviro还提供高温铝室（最多600℃个），其工艺旨在满足先进半导体制造中使用的数百种不锈钢、镍和钨合金的超细特征蚀刻/灰化。ULVAC Enviro提供可靠的顶级材料蚀刻/灰化结果,具有业界要求的重复性和精确度。其简单的菜单选项、控制特性和可靠的工艺室设计缩短了工艺时间，提高了产量。ULVAC蚀刻/灰烬技术提高了生产率,降低了样品成本,并有助于确保设备的最佳可靠性和性能。