二手 ULVAC FRE-200E #9244585 待售

ULVAC FRE-200E是一种反应性离子蚀刻（RIE）工具,用于基于多种具有高选择性和精确度的材料对多种基板进行蚀刻。该装置能够加工直径达200毫米的基板。借助其先进的高频电源,FRE-200E可以在0至200°C的更广泛的加工温度下处理蚀刻。此外，其可配置的设备使加工各种半导体基板和关键图桉形状成为可能，包括LIGA、多层堆栈、薄膜工艺、MEMS、高级包装和面板。借助2D显示器和端点检测支持,ULVAC FRE-200E还为用户提供了过程一致性方面的信心。它还设计了晶圆旋转机构，以确保精密蚀刻的离子分布均匀，使复杂形状的处理更加顺畅。此外,专用辅助电感的特性有助于设计人员优化蚀刻轮廓并降低负载曲率。该机具有载荷锁定系统，可方便用户使用。它还配备了ULVAC专有的"软地"技术，这是一种独特的着陆算法，有助于避免污染，并允许射频电源在不同基板条件下的平稳调度和运行。FRE-200E还设计了最新的安全功能,如锁定/标记单元、联锁门机和用于安全操作环境的水监控工具。总体而言，ULVAC FRE-200E是一种蚀刻器/asher工具，它结合了精度、效率和安全性，即使是最复杂的基板也能提供可靠的蚀刻。其可配置的资产、先进的射频电源、用于沉积的负载锁定模型以及用于过程均匀性的终点检测，使其成为研究和工业市场的宝贵工具。