二手 ULVAC Luminous NA 800 #293669776 待售
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ULVAC Luminous NA 800是一种用于半导体应用的蚀刻器/asher。它是一种垂直型等离子体蚀刻器，为各种材料的蚀刻加工提供优越的品质，如半导体材料、玻璃、陶瓷。Luminous NA 800凭借其先进的技术和精密的设计，能够提供极低的离子能量和低温。这样可以确保材料和基材的最小损坏,以及最小的溅射.ULVAC Luminous NA 800由蚀刻室、源腔、泵腔和控制设备四个主要部件组成。蚀刻室是带有圆形石英窗的不锈钢绝缘压力容器。它含有由射频线圈输送的等离子体和向腔室中心供应的氮气。源腔用作气体的储存容器，泵腔用于系统内清洁调谐，以获得最佳性能。控制单元由多个输入键、数字显示屏、操作员控制的气流机和射频发生器组成。蚀刻室配备了两个可匹配调节的射频线圈和两套自动功率调谐网络，以最小的过度蚀刻提供了高蚀刻选择性。Luminous NA 800凭借其先进的自动等离子控制工具，与传统的蚀刻系统相比，能够实现更高的工艺均匀性。这使得它非常适合精密蚀刻。此外，射频发电机可以在任何功率或频率下保持精确的功率，允许更陡峭的蚀刻轮廓。ULVAC Luminous NA 800也提供了最高的工艺安全标准。它配备了多个联锁装置，以确保达到最高安全标准。此外,它还具有许多增强过程重复性的功能,例如自动气体控制、自动反馈和恒定功率/频率控制。这样可以确保生产出质量最高的零件。总体而言，Luminous NA 800是一款功能强大的蚀刻器/asher，旨在满足半导体应用的需求。ULVAC Luminous NA 800凭借其创新的设计和先进的技术，能够在极低的温度和离子能量下提供卓越的蚀刻质量和精度。它具有多种功能，以确保工艺的安全性和可重复性，使其成为现有的最佳蚀刻系统之一。
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