二手 ULVAC NA-8000 #9314090 待售

ULVAC NA-8000是一种蚀刻器/灰化器,在蚀刻和灰化过程中提供高精度和控制。广泛用于加工多种基材，包括硅片、玻璃和金属。该设备采用双室设计，其中一个专门用于预蚀刻和干蚀刻，另一个用于后蚀刻和湿蚀刻，使蚀刻和灰化过程具有最大的灵活性和效率。该系统采用计算机控制的时间和温度控制单元来确定所需的蚀刻深度和速率。这样可以实现更精确的蚀刻和灰化,同时减少过度蚀刻问题。将基板暴露于等离子体可以改善蚀刻和灰化性能。提高了蚀刻速率和均匀性，减少了污染。ULVAC NA8000具有用于精确晶圆处理的负载锁定机。这对于加工易碎底物特别有用，因为它可以最大限度地减少损坏或排出气体。晶片也可以从工具上装卸，而不会破坏真空或使资产受到外界环境的污染。NA 8000提供了广泛的蚀刻和灰化工艺参数,例如压力、温度和曝光时间。该模型还具有自动化例程,用户可以使用不同的工艺参数设置和管理多个蚀刻/灰化配方。该设备与格式P-2.5、P-3和P-4兼容,以便快速设置和易于测量。NA-800配备了可调节的舞台，可调节至800x500 mm。这个内置阶段使用户能够快速有效地掩盖不会被蚀刻的区域。该系统还具有直接等离子体发生器和内置半导体级气体输送装置。这些功能使蚀刻/灰化过程自动化,并允许用户控制气流和压力。ULVAC NA 8000 蚀刻器/asher是一个紧凑、精确、易于使用的单元，对小、大基板的蚀刻和灰化都非常有效。它能够对各种材料进行蚀刻和粉刷，并提供了具有自动化加工程序的双室机的灵活性和便利性。可调级和直接等离子发生器为用户在蚀刻和灰化过程中提供了更高的控制和精度。该工具还兼容多种格式，使其成为半导体加工的理想解决方桉。