二手 ULVAC NA1000 #9130841 待售

ULVAC NA1000是一种最先进的蚀刻器/asher设备,旨在在蚀刻和灰化过程中提供卓越的性能。与传统的asher/etcher系统相比,该系统提供了卓越的功能、准确性和成本优势。该装置是一种高度紧凑和集成的机器，包含各种各样的头、泵和其他设备，使其适合各种半导体和类似的应用。NA1000工具由四个主要组件组成，它们以高效可靠的方式协同执行蚀刻和灰化过程。这些组件包括等离子体发生器模块、基板传输模块、蚀刻器/灰室和真空发生器模块。所有这些组件都是相互连接的,以确保高效和准确的操作。等离子体发生器模块是一种真空电弧发生器，旨在向蚀刻器/灰烬室提供电流。这允许精确控制等离子体反应和高速蚀刻和灰化操作。基板运输模块是一种输送机资产，其设计目的是将基板送入和送出蚀刻室。蚀刻室（Etcher/Asher Chamber）是一个有单独的疏散口的腔室，包含广泛的电极和阳极尖端。这些组件都设计为协同工作,以便于蚀刻和灰化过程。真空发生器模块是模型的主要真空来源，其设计目的是产生一个用于蚀刻和灰化过程的低压环境。该模块配有高精度真空泵和必要的附件，以保持在蚀刻/asher腔低压。此外，该模块还配备了压力互锁系统、过程监控和故障检测算法等多种安全功能。这些功能可确保流程在最佳和安全的条件下运行。总体而言，ULVAC NA1000 蚀刻器/asher设备是一个高效可靠的系统。凭借其模块化的设计、高精度的元件以及广泛的头部、泵和其他附件,此单元非常适合任何蚀刻和灰化应用。此外，其先进的技术、安全系统和提供精确结果的能力使其成为任何半导体或类似生产环境的理想选择。