二手 ULVAC NA1000 #9150936 待售

ULVAC NA1000是一种专门为满足高精度光刻加工需要而设计的蚀刻器/粉碎器。由于机械和电气反馈机制受到严格的调节，设备能够以最小的像差进行蚀刻和灰化。蚀刻器/asher使用先进的离子束等离子体源精确地创建一个能够产生具有精确能级的离子束的高密度等离子体，允许高分辨率的模式化过程。NA1000配有自动光束同轴补偿监控器（ABCMTM）,在处理过程中不断调整误差并确保精确的模式。该机还配备了可变聚焦透镜系统，以均匀地调节多级离子的光束大小。这使其成为涉及曲面的蚀刻和灰化过程的理想选择。此外,ULVAC NA1000提供了一种能够在300kHz的脉冲重复频率下输出高达550瓦的高功率驱动器激光器,为超高功率蚀刻/灰烬工艺提供了出色的光束均匀性和能量响应。NA1000专为洁净室应用而设计,并设有封闭式工作室,以确保超清洁操作。该装置还装有真空泵，以维持较低的真空压力，降低污染过程的风险。该机能够在-80°C至700°C之间的晶圆製程温度，使其适合各种製程。蚀刻器/asher与Quartz和聚酰亚胺存储卡兼容，并配有一系列可选配件，包括一个机器人晶片处理臂，以帮助晶片定位和装卸。总体而言,ULVAC NA1000 蚀刻器/asher是一台高度先进的精密机器,旨在为光刻工艺提供最佳效果。其优越的机电反馈机制、可变对焦透镜和高功率激光确保在安全、清洁的环境中实现一致、精确的阵列。