二手 ULVAC NE-5000N #293758555 待售

ULVAC NE-5000N是一种精密蚀刻和灰化设备,旨在提供用于生产电子元件和半导体器件的适当精度和精密蚀刻和灰化工艺。它提供了更高的可靠性、精确度、污染控制和吞吐量，以方便烧蚀和选择性蚀刻。适用于多层金属布线、MEMS传感元件、薄晶圆工艺技术的生产。该系统的精密蚀刻能力提供了纳米和微米水平的物料去除。它使用了一个具有集成RF/DC源的超高真空（UHV）腔室和两个并行运行的上游高功率RF源，提供了广泛的等离子体蚀刻。该单元可通过其高级语言（ADL）实现高度控制和可重复的蚀刻过程,从而实现精确的过程控制。它还提供精确的蚀刻配方和快速蚀刻循环。集成的射频/直流源能够选择性地蚀刻各种材料，包括金属、聚合物和电介质。射频/直流源以脉冲或连续模式运行，从而进一步控制蚀刻时间和深度。此外，射频源还能够进行高功率等离子体蚀刻工艺，包括阳极氧化和清洁各种材料。真空室装有多用户加工单元，便于同时蚀刻多个晶片。该机还结合了离子枪和离子束蚀刻能力，实现阳极氧化和铝层选择性蚀刻。它还具有用于薄膜蚀刻和沉积的溅射涂层和离子束沉积工具。先进的温度控制和腔室设计为所有过程周期（包括晶圆冷却）提供了精确且可重复的过程控制,从而实现了优化的蚀刻速率、均匀性和可重复性。NE-5000N还利用新的清洁设备防止污染，这有助于延长工序室的寿命和提高可靠性。该模型设计得非常可靠,并且需要最少的维护。它的高级软件可用于排除各种过程问题。ULVAC NE-5000N还设计了用户友好的触摸屏显示器和控件，便于操作和调整参数。